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大陸半導體廠有錢難買EUV,？

日前,，全球光刻巨頭ASML（阿斯麥）正式澄清,，EUV要進口到中國大陸完全沒有任何問題,！2019年,，中國大陸或?qū)⒂瓉硎着_EUV光刻機,。

眾所周知,，芯片是電子產(chǎn)品所必不可少的組件,，芯片制造商要想成功地制造出芯片來，必須用到光刻機,。對芯片制造商來說,，光刻機就是核心的生產(chǎn)設(shè)備。

目前,，全球僅有極少數(shù)的光刻機設(shè)備廠商能夠研制出高端光刻機,，而荷蘭的ASML則擁有全球晶圓廠光刻機設(shè)備高達8成的市場份額，在干式曝光機,、浸潤式光刻機,，EUV（極紫外線光刻機）的市場幾乎處于獨霸地位，臺積電,、三星,、英特爾等國際半導體巨頭都是其客戶。

由于EUV光刻機的生產(chǎn)難度和成本都非常大，導致ASML的EUV全年出貨僅12臺,，明年可望增加至20臺,，現(xiàn)累積未出貨訂單約27臺，其中有5臺已被臺積電預(yù)訂,，費款高達5.5億美元。

在國內(nèi)，一直流傳著一種聲音....受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買到ASML的中低端產(chǎn)品,，出價再高，也無法購得ASML的高端設(shè)備,。甚至還有人認為，臺積電,、三星等在制程上之所以大幅領(lǐng)先中芯國際,，主要是因為ASML最先進的光刻機對大陸禁售。

那么,，ASML的EUV光刻機真的對大陸禁售,？到底是受產(chǎn)量限制，還是相傳受到國際條約《瓦森納協(xié)議》的制約,？

近日，ASML中國區(qū)總裁金泳璇在接受媒體（DIGITIMES）采訪時正式澄清,，ASML對大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁,，只要客戶下單，EUV要進口到中國完全沒有任何問題,。在交期方面,，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨,，均為21個月,。

他還透露，目前已有大陸晶圓廠巨頭與ASML展開7納米工藝制程的EUV訂單洽談,，2019年大陸首臺EUV可望落地,。

值得一提的是，中芯國際正好在今年3月宣誓進軍7納米,，還表示已和ASML達成合作,。由此看來,，ASML所說的“大陸晶圓廠巨頭”應(yīng)是中芯國際無疑了！

沒有EUV,，大陸芯片制造死路一條

作為集成電路制造過程中最核心的設(shè)備,，光刻機至關(guān)重要，芯片廠商想要提升工藝制程,，沒有它萬萬不行,，中國半導體工藝為啥提升不上去，光刻機被禁售是一個主要因素,。

一般來說,，一家芯片代工廠，從客戶那里獲得一個芯片生產(chǎn)訂單開始算起,，需要在60天內(nèi)為該客戶生產(chǎn)完所有硅片,，這些硅片經(jīng)過封裝和測試等環(huán)節(jié)后，大約又需耗時一個月,。

不過,，如果這家芯片代工廠采用EUV光刻技術(shù)，所用生產(chǎn)時長將會大幅縮短,，并且產(chǎn)品良率也會提高很多,。EUV最大的優(yōu)點就是20多天即可出廠，而用其他工藝則要80多天,。

所以說,，大規(guī)模量產(chǎn)必須要用到EUV。而且,，沒有EUV光刻機，大陸晶圓代工廠在7納米之戰(zhàn)中毫無勝算,！

下附問答全文：

問：針對國內(nèi)市場 ,、客戶，各方現(xiàn)在傳出許多聲音,，聽說國內(nèi)晶圓廠都預(yù)定不到EUV光刻機 “有錢難買EUV”,？ 

答：首先，我必須澄清這絕非事實,。中國本地的晶圓廠與所有國際客戶,，于ASML而言都是一視同仁的，只要是確認訂單,，EUV要進口到中國完全沒有任何問題,。

由于EUV零組件多達5萬多個部件，從客戶下單到正式交貨,，交期約21個月,，這個情況,，對每個客戶都是完全一致的。

事實上,，大陸客戶已進入7納米工藝制程技術(shù)研發(fā)階段,，并且與ASML展開EUV的商談。如果最終訂單確認,，最快預(yù)期2019年EUV會首次移入中國晶圓廠,，我們對在中國客戶裝入中國第一臺EUV光刻機，抱持樂觀的期待,。同時認為一旦一家中國客戶采用,，其他客戶也會快速跟進。

問：EUV似乎是持續(xù)推進摩爾定律,、延續(xù)未來納米工藝往下延伸的關(guān)鍵,，未來進一步規(guī)劃與ASML對摩爾定律的看法？

答：毫無疑問摩爾定律會繼續(xù)下去,，但每一制程技術(shù)節(jié)點之間的時間會延長,，技術(shù)與資本門檻變得更高。

浸潤式顯影技術(shù)走到三重曝光(triple-patterning)階段,，成本已然超過EUV,，生產(chǎn)交期更長、技術(shù)更為復雜,，從量產(chǎn)的性價比角度,，EUV在7納米以下技術(shù)節(jié)點已屬于最適方案。

目前EUV光源已經(jīng)可達250watt,，達到每小時量產(chǎn)125片12吋晶圓,，下一階段5納米技術(shù)節(jié)點以下High-NA EUV已經(jīng)在布局研發(fā)。

問：目前中國市場業(yè)務(wù)布局與銷售情況如何,？ 2017年全年成長幅度與2018年的增長率預(yù)估,？

答：全球半導體行業(yè)版圖位移，不僅本地晶圓廠,，包括國際晶圓廠也在增加中國投資,，ASML預(yù)期，中國光刻機市場規(guī)模具30億歐元潛力,。

總體而言,，目前ASML在中國市場的裝機量累積已達約500臺，2018年可望續(xù)增超過50臺的裝機量,。不僅一線大客戶,，還涵蓋許多中、小型晶圓廠共計多達40多家客戶,。

從銷售額軌跡來看,，中國市場銷售額在2013-2015年維持持平,，2016年微幅成長至6億歐元，2017年上半年中國市場銷售水平已達4億歐元,，因此今年將較去年將有明顯增長,。

由于中國晶圓廠2018-2019年持續(xù)投入資本擴充產(chǎn)能,，ASML 2018年銷售很可能創(chuàng)下中國區(qū)銷售新高的紀錄,，而2019年也會持續(xù)呈現(xiàn)更明顯的跳躍式增長,。

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